自由時報 2023/01/21 面對淨零排放趨勢興起，半導體生產設備碳排將成為深受關注的議題，綠色轉型已成為各大晶圓廠積極努力並執行的目標。工研院建議，台灣半導體業在節能減排發展可採三策略，即是技術創新、產業共好，並積極尋找供應鏈合作轉型。
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. I1 r0 B' `5 q% z( m% r4 X, M* t0 I綠色轉型 已成努力執行目標
$ Q0 A7 C& X: b- W8 H' E5 ^工研院指出，全球半導體設備市場年銷售額已破千億美元規模，隨著全球新興科技的發展，半導體設備的需求明顯增加，這些設備幾乎以每週七天、每天二十四小時不間斷運轉著，生產過程中，對氣體、化學品、水、電等能源的需求將越來越多，面對地緣政治崛起，這將是各國政府與半導體業者無法忽視的高額成本。
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! h5 V; n- D( _工研院關注國際動態 提供建議
+ n; b4 ^/ ^$ Q2 b工研院產業科技國際策略發展所分析師張雯琪指出，若以碳排放來源劃分，包括直接溫室氣體排放、間接溫室氣體排放、非屬公司擁有的其他間接的溫室氣體排放；目前半導體廠內碳排放占比約有三十五％是直接溫室氣體排放，來自沉積與蝕刻製程所需氣體、殘氣、副產物、用於清潔腔體等溫室氣體，都將隨著製程節點縮小而上升。
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她說，尤其是在半導體製造生產過程中常見的全氟及多氟烷基物質（PFAS），碳排放量高，其全球暖化潛力值（GWP）是二氧化碳的二．三五萬倍，對環境有極大的傷害。
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張雯琪指出，未來隨著PFAS被歐盟、美國等政府進行監管，將持續衝擊半導體製造業。目前台灣半導體供應鏈採取技術創新、產業共好的兩項綠化策略。在技術創新部份，透過晶圓廠自身或與供應鏈合作，針對現在製程或設備進行改良，例如帆宣、亞氫動力、工研院合作開發氫能發電，並也以下游帶動上游，實現技術創新和供應鏈共好。
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張雯琪認為，台灣有最先進的半導體製造場域，也有最積極投入綠色製造的客戶，在地設備業者的優勢在於可以就近、快速與客戶展開合作，了解產業需求超前部署。
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張雯琪建議，應透過掌握國際減碳趨勢與規範、建立碳盤查與路徑、制訂短中長期減碳技術策略，同時積極尋找供應鏈合作轉型，才能確保在綠色製造供應鏈中不缺席。
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