自由時報 2023/04/29 台積電攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統有效省水80%，為創造更多節能機會點，去年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，今年4月已導入晶圓十二B廠，節省純水2萬4千公噸、省電38萬8千度，預估2030年既有12吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5千萬度，持續實踐綠色創新。
H& Y5 e( `5 k9 J' T T+ N# a8 F' @5 G8 ^+ ?0 Q8 s( e! L
因應半導體技術快速演進，台積電積極以創新思維強化機台節能成效，2019年攜手供應商開發晶圓清洗機台熱水循環系統1.0版，於原供水管線加裝儲熱水槽回收機台端未使用過的熱水，透過智慧調節原供水管線水溫，與回收熱水混合後加熱使用，將加熱溫差降至最低以達節能效果。
4 v! b' [1 M# W* N, L; e8 Q2 t3 F. O
由於既有廠區機台所在區域空間有限，台積電針對熱水循環系統中的水槽、泵浦、過濾材等設備進行改造，重新設計成不同的模組單元，經預先組裝後再以堆疊形式組合成熱水循環系統2.0版，成功縮小單一系統占地面積、增加改機數量，精進綠色效益。
& q. A/ u1 L' _& l8 M* J: \, Y0 V
台積電估計，利用模組化設計克服無塵室場域限制，在不影響節能效果的前提下，系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%，大幅優化改機與安裝便利性。
+ v% T% b# J# }1 _- ]" Z$ z
, j: Z; E$ }7 Q Q除改造既有廠區晶圓清洗機台設備，台積電也同步評估將熱水循環系統2.0版納入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證及元件安裝，使其初運轉時即達到節水省電效益，朝機台能資源使用效率最大化的永續目標邁進。
, X L6 T, ?; ]" @2 X/ I
4 Y) e; Z5 g: I# \( x
