自由時報 2023/04/29 台積電攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統有效省水80%，為創造更多節能機會點，去年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，今年4月已導入晶圓十二B廠，節省純水2萬4千公噸、省電38萬8千度，預估2030年既有12吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5千萬度，持續實踐綠色創新。
% r6 H/ Z. X; _2 t. x% V. C5 a8 z/ I- A1 V( h+ O7 F
因應半導體技術快速演進，台積電積極以創新思維強化機台節能成效，2019年攜手供應商開發晶圓清洗機台熱水循環系統1.0版，於原供水管線加裝儲熱水槽回收機台端未使用過的熱水，透過智慧調節原供水管線水溫，與回收熱水混合後加熱使用，將加熱溫差降至最低以達節能效果。
! w! Q7 S/ P" L/ N* A5 F+ c$ ~2 V6 @% T4 x: P% [$ A
由於既有廠區機台所在區域空間有限，台積電針對熱水循環系統中的水槽、泵浦、過濾材等設備進行改造，重新設計成不同的模組單元，經預先組裝後再以堆疊形式組合成熱水循環系統2.0版，成功縮小單一系統占地面積、增加改機數量，精進綠色效益。
1 r" z% R8 L2 C% x( f& C8 K. W
; {9 s4 p8 F3 L8 T台積電估計，利用模組化設計克服無塵室場域限制，在不影響節能效果的前提下，系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%，大幅優化改機與安裝便利性。
4 X# F* g% q& T3 X: ]$ x9 v$ D, h( |1 `/ B0 o: e
除改造既有廠區晶圓清洗機台設備，台積電也同步評估將熱水循環系統2.0版納入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證及元件安裝，使其初運轉時即達到節水省電效益，朝機台能資源使用效率最大化的永續目標邁進。
' J: i& ]" T/ @& u0 m
- k- r# _4 S/ N; e% h3 D
