自由時報 2023/04/29 台積電攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統有效省水80%，為創造更多節能機會點，去年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，今年4月已導入晶圓十二B廠，節省純水2萬4千公噸、省電38萬8千度，預估2030年既有12吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5千萬度，持續實踐綠色創新。
% s7 \( o! V& }1 D& c7 S
; B% H+ H7 J8 W5 l* Y U9 p2 [; x因應半導體技術快速演進，台積電積極以創新思維強化機台節能成效，2019年攜手供應商開發晶圓清洗機台熱水循環系統1.0版，於原供水管線加裝儲熱水槽回收機台端未使用過的熱水，透過智慧調節原供水管線水溫，與回收熱水混合後加熱使用，將加熱溫差降至最低以達節能效果。
6 ]+ D8 T$ Z# N% |: x0 t( e- V6 x& Q6 a6 T! O' S4 _) z
由於既有廠區機台所在區域空間有限，台積電針對熱水循環系統中的水槽、泵浦、過濾材等設備進行改造，重新設計成不同的模組單元，經預先組裝後再以堆疊形式組合成熱水循環系統2.0版，成功縮小單一系統占地面積、增加改機數量，精進綠色效益。
$ {7 V- s& l1 a8 C
+ v$ @6 I {( j& J台積電估計，利用模組化設計克服無塵室場域限制，在不影響節能效果的前提下，系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%，大幅優化改機與安裝便利性。
3 e+ q$ r* m$ P& N" ?
7 h' s+ c. X- Y$ U9 O: u9 s除改造既有廠區晶圓清洗機台設備，台積電也同步評估將熱水循環系統2.0版納入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證及元件安裝，使其初運轉時即達到節水省電效益，朝機台能資源使用效率最大化的永續目標邁進。
$ }9 m$ y9 f# Q4 R; f' ]! W3 i1 w, v( W' b; p
